摘要
Abstract
第一章 引言
第一节 测试流片
第二节 测试结构
第三节 器件失效判别的现状和其准确性的意义
第二章 器件漏电失效的现有判别方法、局限及32nm的错误判别
第一节 器件漏电失效的现有判别方法
第二节 现有器件失效的判别的局限性
第三节 32nm器件漏电失效的不正确判别及其原因
第三章 32nm器件漏电失效判别准确性的分析验证
第一节 32nm器件漏电失效判别准确性分析的前提
第二节 32nm器件漏电失效判别准确性的分析验证
第三节 器件漏电失效判别准确性的分析验证方法推广
第四章 32nm器件漏电失效准确判别方案的实验分析和解决
第一节 统一的设置
第二节 模块级别的设置
第三节 设计参数级别的设置
第四节 设计参数级别的设置的具体数值选择
第五节 设计参数级别的设置及具体数值选择的理论分析和数学推导
第六节 本章小结
第五章 结论和展望
参考文献
致谢
