声明
摘要
第一章 绪论
1.1 太阳能电池发展历史和现状
1.2 全球光伏产业背景及现状
1.3 太阳能电池表面质量检测的发展现状
1.4 论文的内容安排
第二章 硅片缺陷检测系统硬件方案
2.1 光致发光检测技术
2.2 常见的缺陷类型
2.3 检测系统硬件结构
2.4 本章小结
第三章 图像预处理与目标分割
3.1 图像去噪
3.2 图像增强
3.3 边缘检测
3.4 霍夫变换
3.5 图像旋转
3.6 目标硅片分割
3.7 本章小结
第四章 缺陷分割与特征提取
4.1 光致发光图像分析
4.2 缺陷特征分析
4.2.1 多晶硅片缺陷分析
4.2.2 单晶硅片缺陷分析
4.3 多晶硅片缺陷分割
4.3.1 曲面拟合
4.3.2 曲线拟合
4.4 缺陷特征提取
4.4.1 多晶硅片缺陷特征提取
4.4.2 单晶硅片缺陷特征提取
4.5 本章小结
第五章 硅片缺陷检测分类与实现
5.1 缺陷检测分类方法
5.2 检测系统软件流程设计
5.3 检测系统软件实现
5.4 本章小结
第六章 总结与展望
参考文献
致谢
攻读硕士学位期间发表的论文与专利