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声明
1绪论
1.1引言
1.2难熔金属的广泛应用及发展特点
1.3难熔金属单品生长技术的发展历史和现状
1.4选题背景及研究意义
1.5本章小结
2难熔金属单晶生长技术
2.1单晶生长技术概论
2.2区熔法原理
2.3电子束原理
2.4电子束悬浮区熔原理
2.4.1电子束悬浮区熔技术的优点
2.4.2电子束悬浮区熔技术的影响因素
2.5本章小结
3机械系统与控制系统总体设计
3.1机械系统简介
3.1.1机械系统组成
3.1.2相关外围设备
3.2控制系统总体设计
3.2.1控制系统设计方法
3.2.2运动控制系统分类
3.2.3难熔金属单晶生长控制系统设计
3.3本章小结
4控制系统硬件实现
4.1伺服控制结构
4.2控制系统硬件组成
4.2.1运动控制器
4.2.2转接卡
4.2.3直流伺服放大器
4.3速度控制系统
4.3.1上下两轴的同步控制
4.3.2慢速电机与运动控制器的接口设计
4.3.3慢速电机控制原理
4.3.4快速电机控制原理
4.4位置测量系统
4.4.1光栅
4.4.2编码器
4.5硬件抗干扰
4.5.1供电部分的抗干扰措施
4.5.2信号传输通道的抗干扰设计
4.6本章小结
5控制系统软件开发
5.1控制系统软件总体设计
5.2控制系统软件功能设计
5.3难熔金属单晶生长控制系统软件开发
5.3.1运动控制器软件介绍
5.3.2控制系统软件的实现
5.4本章小结
6总结与展望
致谢
参考文献
附录
攻读硕士学位期间发表论文与参与项目
西安理工大学;