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目录
第一章 绪论
1.1极片纠偏系统研究背景
1.2 研究目的与意义
1.3 研究方法
1.4主要内容
第二章 极片EPC纠偏系统总体方案设计
2.1极片涂布的工艺流程及纠偏要求
2.2极片跑偏的因素
2.3纠偏原理及纠偏措施
2.4纠偏系统的总体方案设计
2.5本章小结
第三章 系统硬件设计
3.1系统硬件总体方案设计
3.2 DSP概述
3.3 CCD测量系统电路设计
3.4 步进电机驱动电路设计
3.5 其它模块电路设计
3.6 本章小结
第四章 纠偏系统控制策略及仿真
4.1设计思路
4.2常规PID控制
4.3 模糊控制策略
4.4模糊自整定PID控制器设计
4.5系统软件设计
4.6本章小结
第五章 纠偏系统测试结果
5.1纠偏系统测试条件与方法
5.2 测试结论
结论及展望
结论
展望
参考文献
附录
致谢