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0前言
1文献综述
2数学模型
2.1化学反应体系平衡组成的计算
2.2化学反应过程的能量耦合模型
2.2.1能量耦合模型
2.2.2设计变量和能量耦合工艺
3甲烷部分氧化制合成气过程能量耦合工艺的优化设计
3.1引言
3.2过程反应分析
3.3设计变量和能量耦合工艺
3.4工艺条件对体系能量耦合的影响
3.4.1进料温度的影响
3.4.2进料压力的影响
3.4.3原料气组成
3.4.4积炭与消炭分析
3.4.5与实际反应器结果对比
3.5本章小结
4 SiHCl3法生产多晶硅闭环工艺的优化设计
4.1引言
4.1.1我国多晶硅技术的研究现状
4.1.2世界和中国多晶硅技术的比较
4.1.3主要的多晶硅生产技术
4.1.4本章研究内容
4.2 SiHCl3还原生产多晶硅子系统
4.2.1 SiHCl3还原生产多晶硅
4.2.2 SiHCl3还原能量耦合新工艺
4.2.3无SiCl4生成的SiHCl3还原新工艺
4.2.4无SiCl4生成的SiHCl3还原能量耦合新工艺
4.3 SiHCl3合成子系统
4.3.1 SiHCl3合成反应
4.3.2无SiCl4生成的SiHCl3合成新工艺
4.4 SiCl4转化反应
4.4.1温度和进料比例的影响
4.4.2压力和进料比例的影响
4.5 SiHCl3法生产多晶硅闭环工艺
4.5.1 SiHCl3法生产多晶硅流程现状
4.5.2 SiHCl3法生产多晶硅闭环工艺的改进
4.5.3无SiCl4生成的SiHCl3法生产多晶硅闭环新工艺
4.5.4超高温下SiCl4法生产液态多晶硅新工艺
4.6本章小结
5结论及创新点
参考文献
攻读硕士期间发表的论文
致谢