基于全光纤Michelson干涉仪的高灵敏度盐度传感器研究

摘要

精确检测水体盐度，在海洋资源的开发，农业环境的监测与治理，海洋气候预测，矿产勘测以及军事应用等方面都有重要的意义。目前发展比较成熟的盐度测量方法主要包括：电导率法、比重法、折射率法、等离子共振法、遥感微波法和光纤传感法等。然而，随着各个领域对于盐度检测需求的不断发展，对高精度、小体积和大量程的盐度传感器的需求迫切。
　　全光纤Michelson干涉仪是近年来发展起来的一种高精度的光纤传感器结构，由于其传感原理来源于光在同一根光纤中的干涉，使得该类传感器具有集成性好、易于实现、体积小、量程大和灵敏度高等特点，与普通机械类和电子类传感器相比，光纤Michelson干涉式传感器在液体浓度和成分检测方面体现了独特的优势。
　　本文以基于全光纤Michelson干涉仪的盐度传感器为研究目标。该类传感器较现有的光纤光栅类盐度传感器，具有更高的灵敏度，更低的制作成本和更易于实现，本文中系统地研究了该类传感器的结构和传感特性。主要工作包括：
　　1.介绍几种主要的盐度检测技术，概括盐度传感器的国内外现状，论述盐度检测在光纤传感领域的研究现状，综述光纤Michelson干涉仪液体浓度传感器的发展情况。
　　2.光纤Michelson干涉式光纤传感器的工作原理和传感理论研究模型，主要包括光纤Michelson干涉仪液体折射率、应力和温度的传感基理研究。
　　3.利用全光纤Mach-Zehnder干涉仪进行高温检测研究，从全光纤Mach-Zehnder干涉仪温度传感原理出发，实验研究了其高温传感特性，最高温度达900℃，传感器灵敏度为22 pm/℃。
　　4.光纤Michelson干涉仪盐度传感器温度及液体浓度进行实验研究，主要对其温度和液体浓度传感特性进行实验研究。
　　5.涂覆聚酰亚胺薄膜的光纤Michelson干涉型光纤盐度传感器特性的实验研究，通过对比涂覆聚酰亚胺薄膜厚度的盐度传感特性之间的关系实验。随着涂覆膜厚度的增加，传感器的灵敏度增大，研制的传感器灵敏度最大可达19.268pm/％。
　　通过对比4，5两章可得到敏感膜盐度传感器灵敏度明显高于未涂覆的该类传感器的结论，该传感器除了用于海水等盐度检测，还可以在生物医学和环境监测等领域应用。

目录

声明

1 绪论

1.1 课题的研究背景和意义

1.2盐度检测技术概述

1.3盐度传感器国内外现状

1.4光纤类盐度传感器国内外现状

1.5 光纤Michelson干涉仪液体浓度传感器国内外现状

1.6本论文研究内容

2光纤Michelson干涉仪传感原理

2.1光纤Michelson干涉仪原理

2.2光纤Michelson干涉仪液体折射率传感原理

2.3光纤Michelson干涉仪应力传感原理

2.4 全光纤Michelson干涉仪温度传感原理

2.5 本章小结

3全光纤Mach-Zehnder干涉仪高温传感实验

3.1全光纤Mach-Zehnder干涉仪原理

3.2 全光纤Mach-Zehnder干涉仪高温传感实验研究

3.3 本章小结

4光纤Michelson干涉仪盐度传感实验研究

4.1传感器结构

4.2光纤Michelson传感器温度传感实验

4.3光纤Michelson传感器液体浓度检测实验

4.4本章小结

5涂覆敏感膜的Michelson光纤盐度传感器实验研究

5.1应力分析

5.2敏感膜的吸湿扩散原理

5.3 聚酰亚胺涂覆及固化

5.4 实验研究

5.5 实验结果和分析

5.6本章小结

总结与展望

参考文献

致谢

攻读硕士期间主要成果