离子注入石英晶体形成光波导的新结果,并与He<'+>注入石英波导相比较,分析了两种波导暗模特性和折射率分布的差别和产生这些差别的可能的原因.我们报道了MeV P<'+>离子注入KTiOPO<,4>('/>
文摘
英文文摘
第一章绪论
参考文献
第二章光波导原理和实验方法简介
2.1波导的线光学理论
2.1.1光线在介质界面的反射和折射
2.1.2光线在平面波导中的传播
2.1.3平面介质波导中的导波
2.2平面波导折射率分布拟合方法—反射计算法(RCM)
2.2.1 RCM的基本原理
2.2.2波导的波动方程和边界条件
2.2.3反射率的计算
2.2.4折射率分布的确定
2.3棱镜耦合法
2.3.1棱镜耦合的原理
2.3.2 MetriconModel 2010棱镜耦合仪
2.4离子注入技术
2.4.1离子注入技术的发展及现状
2.4.2离子注入机工作原理简介
2.5卢瑟福背散射/沟道分析技术
2.5.1运动学因子K
2.5.2散射截面σ
2.5.3能量损失dE/dx和阻止截面ε
2.5.4能量歧离
2.6二次离子质谱技术
参考文献
第三章离子注入稀土离子掺杂的NaY(WO4)2光波导的折射率分布研究
3.1 He+注入Nd:NaY(WO4)2的平面波导折射率分布
3.1.1实验过程
3.1.2结果与讨论
3.1.3小结
3.2退火行为和注入剂量对离子注入Er,Tm:NaY(WO4)2光波导折射率分布的影响
3.2.1实验过程
3.2.2结果与讨论
3.2.3 小结
参考文献
第四章离子注入Nd:YVO4平面光波导的折射率分布研究
4.1 Ni+离子注入Nd:YVO4平面波导折射率分布研究
4.1.1实验过程
4.1.2结果与讨论
4.1.3小结
4.2 Si+离子注入Nd:YVO4平面波导折射率分布研究
4.2.1实验过程
4.2.2结果与讨论
4.2.3小结
参考文献
第五章低剂量的高能P+离子注入LiNbO3形成单模平面光波导的研究
5.1实验过程
5.2结果与讨论
5.3 小结
参考文献
第六章离子注入KTiOAsO4的平面光波导的折射率分布研究
6.1 He+和Si+离子注入KTA光波导的折射率分布的比较
6.1.1实验过程
6.1.2结果与讨论
6.1.3小结
6.2退火行为对Ni+离子注入KTA光波导的折射率分布的影响
6.2.1实验过程
6.2.2结果与讨论
6.2.3小结
参考文献
第七章离子注入BiB3O6平面波导的折射率分布研究
7.1 He+离子注入形成的BIBO光波导的折射率分布
7.1.1实验过程
7.1.2结果与讨论
7.1.3小结
7.2 Ni+离子注入BIBO光波导的折射率分布
7.2.1实验过程
7.2.2结果与讨论
7.2.3小结
参考文献
第八章离子注入石英平面光波导的折射率分布研究
8.1实验过程
8.2结果与讨论
8.3 小结
参考文献
第九章P+离子注入KTiOPO4晶体的平面光波导的折射率分布研究
9.1实验过程
9.2结果与讨论
9.3小结
参考文献
第十章离子注入LiB3O5和NdLiP4O12双层波导的折射率分布研究
10.1 He+离子注入形成的LBO双层波导的折射率分布
10.1.1实验过程
10.1.2结果与讨论
1O.1.3小结
10.2 He+离子注入形成的LNP双层波导的折射率分布
10.2.1实验过程
10.2.2结果与讨论
10.2.3小结
参考文献
第十一章重离子注入LiNbO3和KTP晶体的RBS和SIMS分析
11.1 350keVBi+离子注入LiNbO3晶体的深度分布和退火行为研究
11.1.1实验过程
11.1.2结果与讨论
11.1.3小结
11.2 MeV Ni+离子在LiNbO3和KTP晶体的浓度分布
11.2.1实验过程
11.2.2结果与讨论
11.2.3小结
参考文献
第十二章总结
12.1主要结果
12.2主要创新点
攻读博士学位期间发表的论文及获得的奖励
致谢