压电晶体磷酸三镓的生长、性能与应用研究

摘要

晶体是长程有序的固体物质，其组成单元在三维空间周期性排列。晶体材料的周期性结构决定了其独特的物理特性，因此可利用晶体材料实现电、磁、光、声和热的交互作用和相互转换，晶体成为现代科学技术中不可或缺的重要材料之一，是光电技术、激光技术和微电子技术的材料基础，目前已获得广泛应用并发挥至关重要的作用。压电效应是功能晶体的一个重要性质，是晶体在外力作用下发生应变时某些表面出现电荷聚集的现象。具有压电效应的晶体称为压电晶体，利用压电效应可以实现机械能和电能的相互转化，用压电晶体制作的各种器件已应用于军事、航空航天、通讯等领域，如滤波器、谐振器、光偏转器、声表面波器件等，压电晶体是现代电子技术中最重要的基础功能材料之一。
　　 磷酸盐压电晶体的研究始于1935年人们对磷酸铝(AlPO4)晶体的研究，该晶体的结构和已获得广泛应用的石英晶体相同，相变点彼此接近，其部分性能要优于石英晶体，被视为可替代石英的压电晶体。磷酸镓(GaPO4)是磷酸铝的同族晶体，因磷酸镓晶体与石英晶体结构相同，几乎具有石英晶体的所有优点，并且该晶体的热稳定性、压电系数和机电耦合系数要略优于石英。在25～933℃之间，磷酸镓晶体的物理特性也只有很小的变化，它是一种具有潜在应用前景的压电晶体材料，可制成压电器件在高温条件下取代石英晶体使用。磷酸镓晶体的优异性能引起了广大科研工作者的研究兴趣，该晶体成为压电晶体的研究热点之一。但是高质量大尺寸磷酸铝和磷酸镓晶体的生长困难，难以实现工业化生产，成本高，因此更难以实现商品化从而限制这两种晶体的应用。
　　 GaPO4是Ga2O3-P2O5体系中最先发现的一种无对称心结构的晶体，1998年Sophie Boudin等人发现了Ga2O3-P2O5体系中第二种无对称心结构的晶体-磷酸三镓(Ga3PO7)晶体。他们采用水热法首次合成了Ga3PO7晶体，以NH4H2PO4与Ga2O3为溶质，H2O为溶剂，在773K、210×106Pa的条件下获得了Ga3PO7单晶。Ga3PO7晶体属于三方晶系，空间群为R3m。该晶体不具有对称中心，属于10种极性晶类之一，从其结构推测Ga3PO7晶体应具有压电类晶体的基本性质，是一种新压电类晶体材料。2007年我们课题组首次采用助熔剂法成功生长出厘米级Ga3PO7晶体，随后对该晶体的热学、光学等性质进行表征。2008年，Z.X.Cheng等人对Ga3PO7晶体的电子结构和光学性质进行了理论计算，文章指出该晶体在光电应用中是一种非常有应用前景的晶体。除本课题组的一些工作外，有关该晶体其他物理性质尚未见报道。本论文对这种无对称中心的压电类晶体Ga3PO7的生长、性能及应用展开了进一步较为深入的研究。
　　 本论文探索了生长Ga3PO7晶体的助熔剂体系，并确定了适于该晶体生长的助熔剂体系，在此基础上，采用顶部籽晶法生长了Ga3PO7晶体，优化了生长工艺参数，得到大尺寸Ga3PO7单晶体;测量和观察了Ga3PO7晶体的结构、形貌和缺陷;采用实时拉曼光谱技术研究了Ga3PO7晶体生长的界面过程;测量和研究了这一晶体的基本性质，特别是系统地研究了该晶体的压电、介电和弹性等性质，设计了不同频率的谐振器，初步探索了Ga3PO7晶体压电器件的性质。主要研究内容如下:
　　 1、Ga3PO7晶体生长助熔剂体系的探索。
　　 采用自发成核法分别以X2Mo3O10(X=Li、Na、K)、X2W3O10(X=K)、X2Mo2O7(X=Li)、X2W2O7(X=Li)、X2MoO4(X=Li)以及Na2O-B2O3作助熔剂进行晶体生长实验，结果表明各种X2Mo3O10(X=Li、Na、K)助熔剂体系均可生长Ga3PO7晶体;通过设计实验对比X2Mo3O10(X=Li、Na、K)各助熔剂体系，发现K2Mo3O10助熔剂体系MoO3的挥发量最小，体系最稳定，并且Ga3PO7的析晶量最大，采用该助熔剂自发成核得到毫米级Ga3PO7单晶体，形状规则，面发育完全，结晶性好，由此确定K2Mo3O10助熔剂体系是最适于大尺寸体块Ga3PO7单晶生长。
　　 2、厘米级Ga3PO7晶体的顶部籽晶法生长。
　　 采用顶部籽晶法，以K2Mo3O10作助熔剂，分别用任意方向、a方向、垂直于c方向的任意方向以及垂直于(101)面方向籽晶生长了厘米级Ga3PO7晶体，通过对不同方向籽晶生长晶体的定向，确定晶体显露面主要为{101}、{021}和{012}晶面族，利用负离子配位多面体生长基元理论模型研究分析了Ga3PO7晶体在c方向出现的极性生长现象。
　　 探索并优化了顶部籽晶法生长Ga3PO7晶体的生长工艺参数。在相同的生长周期、相同降温速率以及相同的温场条件下，采用不同溶液浓度进行自发成核实验，确定溶质浓度为20wt％时Ga3PO7晶体析晶量最大，即20wt％为最佳溶质浓度。分析籽晶方向对体块晶体生长的影响，综合考虑晶体尺寸、质量，以及后期定向加工和利用率，确定垂直于(101)面方向的籽晶最适于生长晶体。根据多次自发成核和顶部籽晶法晶体生长实验和经验确定了Ga3PO7晶体的生长区间为975℃到850℃，设计了合适的温场，确定了合适的降温速率和籽晶固定方式。
　　 3、Ga3PO7晶体结构、形貌与缺陷的表征。
　　 采用X射线单晶结构分析仪（四圆衍射仪）对Ga3PO7晶体结构进行解析，确定Ga3PO7晶体属于三方晶系，R3m空间群，晶胞参数为a=b=7.8890(1)(A)，c=6.7314(2)(A)，Z=3;构成Ga3PO7晶体的结构基元为GaO5三角双锥和PO4四面体，且两基元发生不同程度的畸变，计算了GaO5三角双锥和PO4四面体结构基元的偶极矩，证明Ga3PO7晶体的压电和其他性质源于该两基元的畸变;采用X射线能谱仪对晶体进行成分分析，确定晶体中Ga∶P∶O的原子个数比实验值为26.54∶8.94∶64.52，接近其化学式的元素组成比理论值。
　　 根据顶部籽晶法所生长晶体的显露面族{101}、{021}和{012}及其各显露面之间关系，并参考自发成核晶粒形状，利用晶体对称性，得到采用K2Mo3O10作助熔剂生长的Ga3PO7晶体晶体的理想形貌。
　　 采用光学显微镜和原子力显微镜观察了原生晶体的形貌，并观察到晶体中存在晶界、包裹体、开裂、不规则表面以及负晶等常见缺陷，结合晶体生长过程探讨了各种缺陷的形成的原因并提出了提高晶体完整性的办法。采用化学腐蚀法对Ga3PO7晶体(001)、(110)和(101)面进行了腐蚀，利用扫描电镜和光学显微镜观察了不同面的腐蚀形貌，(001)面和(110)面腐蚀坑分别符合三次轴和对称面的对称性。
　　 4、Ga3PO7晶体的拉曼光谱
　　 采用拉曼散射技术研究了Ga3PO7单晶的偏振拉曼振动。采用的拉曼散射配置为x(zz)x，x(yz)x，x(yy)x，z(yy)z和y(xx)y，分别对应于A1(TO)，E(TO)，A1(TO)+E(TO)，A1(LO)+E(TO)和A1(TO)+E(LO)对称性的拉曼光谱。根据已有的对PO4基团的化合物的拉曼光谱方面的研究工作，指认了Ga3PO7单晶中PO4四面体的内振动模，并观察到v1，v3和v4内振动模的LO-TO的劈裂，确定959和1001cm-1对应PO4基团v1振动模，484cm-1处对应PO4基团v2振动模，1095，1127，1139和1208cm-1处对应PO4基团v3振动模，678，706，716和773cm-1处对应PO4基团v4振动模。
　　 利用高温共焦激光显微拉曼光谱技术，首次研究了Ga3PO7晶体生长的界面过程。研究发现随着温度的升高原子间键长增大，Ga3PO7晶体的拉曼谱会向低频方向移动;通过分析籽晶和生长溶液之间不同点的拉曼光谱，确定了结构基元PO4在生长溶液和籽晶边界层附近稳定存在，探讨了相应的生长机理。
　　 5、Ga3PO7晶体基本性质的测定。
　　 采用浮力法测定了Ga3PO7晶体在30℃时的密度，为4.8413 g·cm-3，并计算了其随温度的变化情况;采用维氏硬度法测定了Ga3PO7晶体的硬度，采用25克力测得其a和c方向的硬度分别为1107和920 kgf/mm2，该晶体具有良好的机械强度且较易加工;测量了Ga3PO7晶体的比热、热扩散和热膨胀，热重差热测试表明在温度高至1348.0℃时无相变，且尚未熔化，但开始分解为GaPO4和Ga2O3，对Ga3PO7晶体的热性质测试表明Ga3PO7晶体具有良好的热稳定性;Ga3PO7晶体不同面在200nm-2800nm的波长范围内的透过率均在80％以上，Ga3PO7晶体具有较高的透过率;中红外透过光谱的测量表明在1141.59和1095.17 cm-1处的吸收峰对应PO4基团存在对称伸缩振动，964.25 cm-1处的吸收峰对应PO4基团对称弯曲振动，702.94和657.49 cm-1处的吸收峰对应PO4基团非对称弯曲振动;Ga3PO7晶体具有良好的化学稳定性，不潮解、不解理，室温下不溶于盐酸和硝酸，微溶于磷酸和氢氟酸;沸腾的磷酸可作为该晶体的腐蚀剂。
　　 6、Ga3PO7晶体电弹性质及压电器件的设计。
　　 通过坐标旋转法设计了用于测试Ga3PO7晶体的全部介电、压电和弹性常数的全部10个切型的样品，并在室温下测定了Ga3PO7晶体的全部自由介电常数、压电应变常数以及弹性柔顺常数。确定了各常数矩阵，结果如下:ε=[ε1100ε11000ε33]=[12.6300012.630008.58]，d=[0000 d15-2d22-d22 d220 d1500 d31 d31 d33000]=[00007.7-8.6-4.34.307.700000000]pC/N s=s11 s12 s13 s1400 s12 s11 s13-s1400 s13 s13 s33000 s14-s140 s44000000 s442s1400002s142(s11-s12)]=[5.84-0.350.840.7000-0.355.840.84-0.70000.840.844.980000.70-0.7009.920000009.921.3900001.3912.38]×10-12m2N-
　　 在-50～120℃范围内，研究了Ga3PO7晶体的介电、压电、弹性常数以及机电耦合系数的温度稳定性;通过计算晶体弹性常数的温度系数，发现S11的温度系数最小。设计了频率分别为400K和2M的谐振器，在-50～120℃的温度范围内对谐振器频率的温度稳定性进行了研究，结果表明yx切压电振子的温度稳定性较高，有望得到实用。
　　 本文深入研究了磷酸三镓Ga3PO7晶体的生长条件和工艺，确认这是在Ga2O3—P2O5体系中存在的一种无对称中心的压电类晶体，确定了采用助熔剂生长厘米级Ga3PO7晶体的条件:以K2Mo3O10为助熔剂，溶质Ga3PO7浓度为20wt％，最佳籽晶方向为垂直于(101)面方向，采用籽晶试探法确定饱和点，生长区间为975℃到850℃。室温拉曼光谱表明:959和1001cm-1对应PO4基团v1振动模，484cm-1处对应PO4基团v2振动模，1095，1127，1139和1208cm-1处对应PO4基团v3振动模，678，706，716和773cm-1处对应PO4基团v4振动模。高温拉曼谱表明在晶体和生长溶液的边界层相互有稳定的PO4基团出现，生长基元往不同晶面上的叠合构成了晶体的生长。Ga3PO7晶体属三方晶系，R3m空间群，a=b=7.8890(1)(A)，c=6.7314(2)(A)，Z=3;30℃时晶体密度为4.8413 g·cm-3，采用25克力测得晶体a和c方向的硬度分别为1107和920 kgf/mm2。对Ga3PO7晶体热学性质测试结果显示:在20℃时Ga3PO7晶体比热为0.491 J/gK，在35℃到494℃的温度范围内，Ga3PO7晶体a方向和c方向的平均线性热膨胀系数分别为2.484×10-6K-1和3.794×10-6K-1;在30℃时Ga3PO7晶体沿a、c两个方向的热导率分别为5.144 W/(m·K)和5.446 W/(m·K)，在温度高至1348.0℃时Ga3PO7晶体未熔化，开始分解为Ga2O3和GaPO4。对Ga3PO7晶体光学性质测试结果显示:Ga3PO7晶体不同方向的透过率均在80％以上，晶体具有较高的透过率;中红外透过光谱的测量表明:1141.59和1095.17 cm-1，964.25 cm-1，以及702.94和657.49 cm-1处的吸收峰分别对应PO4基团的对称伸缩振动，对称弯曲振动和非对称弯曲振动;Ga3PO7晶体没有明显的倍频效应，因此不会在非线性光学方面有所应用。系统的研究了Ga3PO7晶体的电弹性质，室温下其相对介电常数ε11和ε33分别为11.08和7.73，压电常数d22和d15分别为4.3和7.7pC/N，六个独立的弹性常数S11、S12、S13、S14、S33、S44和S66分别为5.84、-0.35、0.84、0.70、4.98、9.92和12.38 pm2/N;通过对Ga3PO7晶体电弹常数的温度稳定性测量，确定S11的温度系数最小，采用yx切压电振子的谐振器的温度稳定性较高，有望得到实用。

目录

声明

摘要

第一章 绪论

1．1 引言

1．2 压电晶体概述

1．3 磷酸三镓晶体研究进展

1．4 本论文研究工作

参考文献

第二章 GasPO7晶体的助熔剂探索

2．1 引言

2．2 助熔剂法晶体生长技术

2．3 晶体生长装置

2．4 Ga3PO7晶体的助熔剂探索

2．4．1 助熔剂体系探索

2．4．2 钼酸盐X2Mo3O10助熔剂体系研究

2．5 本章小结

参考文献

第三章 Ga3PO7晶体的顶部籽晶法生长

3．1 引言

3．2 Ga3PO7晶体的顶部籽晶法生长

3．2．1 顶部籽晶法生长

3．2．2 极性生长研究

3．3 影响晶体生长的因素

3．4 本章小结

参考文献

第四章 Ga3PO7晶体的结构、形貌与缺陷研究

4．1 引言

4．2 晶体结构与形貌

4．3 Ga3PO7晶体结构表征

4．3．1 Ga3PO7晶体的结构

4．3．2 Ga3PO7晶体的成分分析

4．3．3 Ga3PO7晶体中各基元畸变计算

4．3．4 Ga3PO7晶体的形袭

4．4 Ga3PO7晶体的缺陷

4．4．1 引言

4．4．2 观察晶体缺陷的方法

4．4．3 Ga3PO7晶体的缺陷

4．4．4 Ga3PO7晶体原于力显微镜研究

4．5 Ga3PO7晶体的化学腐蚀

4．7 本章小结

参考文献

第五章 Ga3PO7晶体拉曼光谱研究

5．1 引言

5．2 实验仪器介绍

5．2．1 色散型Jobin Yvon T64000拉曼光谱仪介绍

5．2．2 高温显微拉曼光谱仪及微型晶体生长炉介绍

5．3 基本晶格振动模分类

5．4 Ga3PO7晶体室温拉曼谱

5．5 Ga3PO7晶体和GaPO4晶体及其生长溶液的高温拉曼谱研究

5．5．1 实验过程

5．5．2 Ga3PO7晶体及其生长溶液的高温拉曼谱研究

5．5．3 GaPO4晶体及其生长溶液的高温拉曼谱研究

5．6 本章小结

参考文献

第六章 Ga3PO7晶体的基本物理化学性质

6．1 引言

6．2 晶体的坐标系

6．2．1 结晶学坐标系

6．2．2 物理学坐标轴

6．3 晶体密度

6．3．1 理论密度的计算

6．3．2 实测密度

6．4 晶体硬度

6．5 晶体的热学性质

6．5．1 晶体的比热

6．5．2 晶体的热膨胀

6．5．3 晶体的密度随温度的变化

6．5．4 晶体的热扩散系数与热导率

6．5．4 晶体的热稳定性

6．6 晶体的光学性质

6．6．1 透过光谱

6．6．2 红外光谱

6．7 本章小结

参考文献

第七章 Ga3PO7晶体的介电、压电和弹性性质

7．1 引言

7．2 压电方程和压电常数

7．3 压电振动模式

7．4 压电、介电和弹性性能测试

7．4．1 测试方法介绍

7．4．2 切型设计和样品制备

7．4．3 Ga3PO7晶体切型设计

7．4．4 介电常数测量

7．4．5 压电常数测量

7．4．6 弹性常数测量

7．4．7 压电常数的理论计算分析

7．5 温度对电弹常数的影响

7．6 压电器件设计和性能研究

7．7 本章小结

参考文献

第八章 总结

8．1 主要结论

8．2 主要创新点

8．3 有待进一步开展的工作

攻读博士学位期间发表的学术论文

攻读博士期间获得的奖励

致谢

Paper 1

Paper 2