声明
摘要
符号说明
第一章 绪论
1.1 太赫兹与太赫兹波
1.2 太赫兹探测器
1.3 太赫兹发射器
1.4 太赫兹功率放大器
1.5 本论文的研究内容
第二章 物理背景及实验方法
2.1 半导体异质结
2.2 金属半导体接触
2.3 耿氏效应
2.4 微纳加工技术
2.5 半导体表征技术
2.6 高频测试
第三章 平面太赫兹半导体探测器
3.1 自开关二极管介绍
3.2 InGaAs自开关二极管
3.3 GaN自开关二极管
第四章 平面太赫兹半导体发射器
4.1 InGaAs平面耿氏二极管
4.2 GaN平面耿氏二极管
第五章 平面太赫兹功率放大器
5.1 InGaAs耿氏功率放大器
5.2 InGaAs侧栅晶体管
6.1 论文总结
6.2 展望
参考文献
致谢
攻读博士学位期间的研究成果
附录