文摘
英文文摘
第一章绪论
1.1研究的背景和意义
1.2国内外研究现状
1.3本课题组的前期研究
1.4本文要做的工作
参考文献
第二章PET基氟碳膜的制备
2.1选择磁控溅射的必要性
2.2实验设备
2.3实验部分
参考文献
第三章PET基氟碳膜的表面形貌研究
3.1引言
3.2实验部分
3.3结果与讨论
本章小结
参考文献
第四章氟碳膜的均匀性研究
4.1引言
4.2实验部分
4.3结果与讨论
本章小结
参考文献
第五章氟碳膜的纳米结构研究
5.1引言
5.2实验部分
5.3结果与讨论
本文章小结
参考文献
第六章结论
致谢