声明
摘要
1 引言
1.1 课题研究背景
1.2 研究现状
1.3 课题研究的意义
1.4 课题研究的主要内容
2 多晶硅圆柱锭外圆磨削加工装备整体结构的设计
2.1 多晶硅圆柱锭外圆磨削加工装备的理论计算
2.1.1 砂轮型号的选择及磨削用量的计算
2.1.2 切削工时的计算
2.1.3 磨削力和磨削功率的计算
2.1.4 夹紧力的计算
2.2 多晶硅圆柱锭外圆磨削加工装备定位方案的确定
2.3 多晶硅圆柱锭外圆磨削加工装备夹紧方案的确定
3 多晶硅圆柱锭外圆磨削加工装备具体结构的设计
3.1 夹紧元件的设计
3.2 支撑钉的设计
3.3 V型块的设计
3.4 对机床的改造
4 液压系统的设计
4.1 液压回路方案的制定
4.2 拟定液压系统原理图
5 有限元分析
5.1 有限元与ANSYS的简介
5.2 ANSYS分析过程
5.2.1 油缸安装架的有限元分析
5.2.2 球头轴的有限元分析
5.2.3 调节支撑钉的有限元分析
6 多晶硅圆柱锭外圆磨削加工装备样机安装调试
6.1 设备的安装与调试
6.2 多晶硅圆柱锭外圆磨削加工装备的工作原理
7 结论与改进建议
7.1 结论
7.2 改进意见
致谢
参考文献
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