激光刻线机的光栅位移检测系统

摘要

在现代工业中,人们越来越重视如何在生产中降低污染,达到对环境的保护,实现产品的绿色、环保.本文所述的是运用激光打标机实现传统游标卡尺工艺的改造,采用光栅实现对位移的精密测量,利用电子细分和程序细分,使测量的分辨率达到0.5微米,实现了低线数光栅的高精度、大量程的位移测量.在本文中,首先采用傅里叶法对光栅的模型进行分析,得出了莫尔条纹的公式,接着论述了如何对莫尔条纹的信号处理,包括对莫尔条纹的细分、判向、计数,接下来论述了如何用单片机从硬件和软件实现光栅位移检测系统以及系统中存在的干扰,如何抑制这些干扰,最后分析了光栅位移系统的误差和消除误差的一些途径.