声明
摘要
第1章 绪论
1.1 引言
1.2 磁控溅射镀膜技术
1.2.1 磁控溅射镀膜过程
1.2.2 反应磁控溅射镀膜特点
1.2.3 等离子体诊断技术
1.2.4 光谱法对等离子体的诊断及其应用
1.3 氧化锌的基本性质
1.3.1 氧化锌的结构特性
1.3.2 氧化锌的光电特性
1.3.3 氧化锌的其他性质
1.4 氧化锌薄膜的应用
1.4.1 紫外探测器
1.4.2 压电器件
1.4.3 透明电极
1.5 课题研究内容
第2章 实验仪器设备及其原理
2.1 反应溅射镀膜系统
2.1.1 真空抽气系统
2.1.2 溅射镀膜室
2.1.3 检测组件
2.2 等离子体发射谱测量系统
2.2.1 光纤探头与传导光纤
2.2.2 EPP2000型光谱仪
2.2.3 光谱法检测理论依据
2.3 薄膜表征设备
2.3.1 表面形貌的分析
2.3.2 晶体结构的分析
2.3.3 润湿性的分析
2.3.4 电学性能的分析
2.3.5 光学性能的分析
第三章 ZnO薄膜沉积中工艺参数的测定
3.1 迟滞现象
3.2 沉积ZnO薄膜的迟滞曲线的绘制
3.3 光谱法对工艺参数的实验优化
3.3.1 影响薄膜沉积的工艺参数
3.3.2 功率对等离子体特征谱线强度影晌的实验研究
3.3.3 工作真空度对等离子体特征谱线强度影响的实验研究
3.3.4 工作气体流量对等离子体特征谱线强度影响的实验研究
3.3.5 等离子体中Zn元素谱线最强参数的确定
3.3.6 在优化参数下绘制迟滞曲线
3.4 本章小结
第4章 薄膜的制备及其性质研究
4.1 薄膜的制备
4.1.1 选择实验材料
4.1.2 清洗基片
4.1.3 清洁靶材
4.1.4 安装基片和靶材
4.1.5 制备薄膜
4.2 薄膜的表征
4.2.1 薄膜结构分析
4.2.2 表面形貌与成分分析
4.2.3 电学特性研究
4.2.4 光学性质研究
4.2.5 润湿性研究
4.3 本章小结
第五章 结论与展望
5.1 结论
5.2 展望
参考文献
致谢
东北大学;