声明
第一章 绪 论
1.1 研究背景及意义
1.2 微定位平台驱动方式的研究现状
1.3 微定位平台国内外研究现状
1.3.1 微定位平台设计研究方法
1.3.2 微定位平台性能综合
1.4 主要研究内容
第二章 一维微定位平台的设计
2.1 引言
2.2 微定位平台结构设计
2.3 微定位平台理论分析
2.3.1 柔性铰链刚度分析
2.3.2 绕x轴转动的柔性铰链轴向刚度
2.3.3 微定位平台设计原理
2.4 微定位平台有限元分析
2.4.1 放大倍数分析
2.4.2 刚度仿真分析
2.4.3 应力仿真分析
2.4.4 固有频率分析
2.5 实验验证
2.6 本章小结
第三章 二维微定位平台的设计与优化
3.1 引言
3.2 二维微定位平台设计
3.3 微定位平台设计理论建模
3.3.1 直线驱动支链放大倍数计算
3.3.2 旋转驱动支链放大倍数计算
3.4 响应面法优化流程
3.4.1 设计变量的选择
3.4.2 灵敏度分析
3.4.3 建立响应面模型
3.5 基于遗传算法的多目标优化
3.6 实验验证
3.6.1 放大倍数验证
3.7 本章小结
第四章 改进式PID二维微定位平台的动力学分析与控制
4.1 引言
4.2 二维微定位结构参数
4.3 二维微定位平台的动力学建模
4.3.1 压电陶瓷驱动器传递函数
4.3.2 微定位平台的传递函数
4.4 二维定位平台系统传递函数
4.5 二维平台PID控制器设计及仿真
4.5.1 传统PID 控制原理
4.5.2 改进PID控制器设计
4.5.3 平台PID控制器及仿真
4.6 实验验证
4.6.1 实验系统构成
4.6.2 阶跃响应下的目标信号响应
4.6.3 混合式响应目标信号响应
4.7 本章小结
第五章 总结与展望
5.1 主要工作及总结
5.2 创新点
5.3 研究展望
参考文献
致谢
攻读学位期间的研究成果
