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1.绪论
1.1微通道板的工作原理
1.2微通道板的制作工艺
1.2.1前道工序
1.2.2后道工序
1.3微通道板的电极的作用
1.4小孔径微通道板蒸镀电极的基本要求
1.5高性能微光像增强器对微通道板电极的特定要求
1.6研究的背景和目的
1.7对小孔径微通道板电极的质量要求及其判据
1.7.1材料
1.7.2电极尺寸、同心度、输入、输出电极穿透通道深度和电极电阻
1.7.3其他疵病
2.输入电极研究
2.1输入电极穿透通道内的深度对增益和噪声因子影响的研究
2.2输入面电极反射率的研究
2.2.1影响反射率的可能因素
2.2.2不同的蒸镀方式导致反射率的变化
2.2.3膜层厚度
2.2.4开口面积比
2.2.5输入电极穿透微通道板通道内深度
2.3微通道板电极面电阻率对增益均匀性的影响
2.3.1等效电路模型
2.3.2微通道板面电阻率对电压分布进而对增益均匀性的影响
2.4降低输入电极电阻的工艺探索(钨丝加热蒸镀工艺)
2.4.1微通道板面电阻高的原因分析
2.4.2改进措施
2.4.3结果
2.4.4进一步改进的方向
3.输出电极结构对输出电子能量分布和增益的影响
3.1输出电极对性能的影响
3.2输出电子能量分布(EDOE)对分辨率的影响
3.2.1单通道电子倍增器电极结构对EDOE和增益的影响
3.3电极结构对MCP的EDOE和增益的影响
3.3.1普通MCP
3.3.2不同输出电极深度的影响
3.3.3采用类似外输出电极结构
3.3.4电极深度的变化对增益的实际影响
4.微通道板调制传递函数研究
4.1双近贴微光像增强器的调制传递函数及空间分辨率
4.2 MCP的MTF和分辨力
4.3 MCP发射电子模型和第二近贴分辨力
5.结论
5.1本论文的工作总结
5.2有待进一步进行的工作
致谢
参考文献