φ1.1m平面镜的瑞奇-康芒检验方法研究

摘要

随着光学技术的不断发展,高精度、大口径光学平面镜在空间光学、强激光等光学领域得到了广泛的应用。大口径光学平面镜的加工需要有相应的高精度检验方法。本论文基于“Φ1.1m平面镜的瑞奇-康芒检验”的研究课题,研究了大口径光学平面镜的瑞奇-康芒检验方法。
　　 根据瑞奇-康芒检验的原理,对瑞奇角、平面面形偏差与系统波像差之间的关系进行了详细的推导。利用ZEMAX光学设计软件构建了Φ1.1m平面镜瑞奇-康芒检验的仿真实验装置,并模拟了常见的几种平面镜面形偏差对平面镜检测结果的影响,模拟了不同瑞奇角下的检测结果。
　　 在Zygo干涉仪上完成了一个Φ75mm平面镜瑞奇一康芒检验的实验,拟合后的平面镜面形与干涉仪直接测量的结果基本一致,验证了该方法的可行性。用4D动态干涉仪分别在40°和52°的瑞奇角下测得了Φ1.1m平面镜的波面,根据Ritchey-Common算法还原了平面镜的真实面形,检测结果中平面镜面形峰谷值(PV)为0.273Z,,均方根值(RMS)为0.024λ,基本符合加工要求。实验结果表明瑞奇-康芒法在检测大口径光学平面镜领域是行之有效的。