声明
摘要
1 绪论
1.1 课题背景与意义
1.2 微惯性开关研发现状
1.2.1 国内微惯性开关研发现状
1.2.2 国外微惯性开关研发现状
1.3 本文主要研究内容
1.4 小结
2 微流体惯性开关应用环境分析
2.1 微流体惯性开关环境力分析
2.1.1 正常发射环境分析
2.1.2 勤务跌落环境分析
2.2 微流体惯性开关设计目标
2.3 小结
3 开关理论模型分析和材料选择
3.1 理论模型分析
3.1.1 微尺度尺寸效应
3.1.2 微流体粘性分析
3.1.3 微流体表面张力分析
3.1.4 流体动力学基本方程
3.1.5 毛细现象
3.1.6 微流体惯性开关工作原理
3.2 计算流体力学分析
3.2.1 计算网格划分
3.2.2 VOF模型
3.3 开关材料选择与实验测试
3.3.1 基体材料选择
3.3.2 导电液的配制
3.3.3 电阻率测试
3.3.4 粘度测试
3.3.5 接触角测试及表面张力换算
3.4 小结
4 微流体惯性开关仿真与结构优化
4.1 储液机构设计
4.2 惯性响应机构设计
4.3 开关接触和保持机构设计
4.3.1 气泡问题
4.3.2 接触和保持问题
4.4 结构设计及仿真
4.5 压强分析
4.6 小结
5 开关冗余保险电路
5.1 电路设计
5.2 电路功能测试
5.3 小结
6 微流体惯性开关制作工艺
6.1 不同材料的微加工性能
6.2 开关加工工艺
6.2.1 微通道加工工艺
6.2.2 盖板电极工艺
6.2.3 键合工艺
6.3 小结
7 总结与展望
7.1 总结
7.2 创新点
7.3 问题与展望
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文和出版著作情况