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图表清单
注释表
第一章 绪论
1.1 高温合金简介及镍基高温合金的性质和用途
1.1.1 高温合金分类及应用
1.1.2 镍基高温合金
1.1.3 镍基高温合金在微细领域的应用前景
1.2 微细加工技术的研究与发展
1.2.1 超精密机械微细加工技术
1.2.2 硅微细加工技术
1.2.3 LIGA技术
1.2.4 微细电火花加工技术
1.2.5 EFAB技术
1.2.6 微细高能束流加工技术
1.3 微细电解加工技术的研究与发展
1.3.1 掩模微细电解加工
1.3.2 电液束微细电解加工
1.3.3 CELT技术
1.3.4 扫描探针微细电化学加工技术
1.3.5 脉冲电流微细电解加工
1.4 课题来源、研究意义及本文主要研究内容
1.4.1 课题来源和研究的目的及意义
1.4.2 本文的主要研究内容
第二章 微细电解铣削加工理论基础
2.1 电解加工的基本原理
2.1.1 法拉第定律
2.1.2 电解加工速度
2.1.3 平衡间隙
2.2 纳秒脉冲微细电解加工的机理研究
2.2.1 实现微细电解加工的基本技术条件
2.2.2 纳秒脉冲微细电解加工的机理研究
2.3 微细电解铣削加工理论建模
2.4 本章小结
第三章 微细电解铣削加工工艺系统
3.1 机床主体结构
3.1.1 机床主体
3.1.2 伺服进给系统
3.1.3 电极夹具
3.2 加工检测与控制系统
3.2.1 总体设计
3.2.2 轨迹控制
3.2.3 加工控制系统
3.3 电解液系统
3.4 本章小结
第四章 微细工具电极的制备
4.1 微细电极的制备原理
4.2 单阶与多阶电极的强度分析
4.3 多阶柱状电极的制备
4.3.1 多阶柱状电极的理论建模
4.3.2 多阶柱状电极试验与分析
4.3.3 理论模型对电极制备过程的指导流程
4.3.4 部分电极图片
4.4 本章小结
第五章 镍基高温合金微细电解铣削加工试验研究
5.1 电解液的选择
5.2 加工参数对加工结果的影响
5.2.1 加工电压对加工结果的影响
5.2.2 脉冲宽度对加工结果的影响
5.2.3 脉冲周期对加工结果的影响
5.2.4 电极直径对加工结果的影响
5.2.5 电解液浓度对加工结果的影响
5.3 薄分层电解铣削策略
5.3.1 铣削层厚度对起始点形状精度的影响
5.3.2 铣削层厚度对稳定加工的影响
5.3.3 铣削层厚度对加工效率的影响
5.4 典型型腔加工实例
5.5 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 本文工作总结
6.2 未来工作展望
参考文献
致谢
在学期间的研究成果及发表的学术论文