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图表清单
注释表
第一章 绪论
1.1引言
1.2直线超声电机的发展及特点
1.3直线超声电机存在的问题
1.4 直线超声电机并联研究概述
1.5 本文主要研究内容
第二章 U形直线超声电机结构设计及优化
2.1引言
2.2振动波传递理论
2.3 压电陶瓷片与其面内振动模态的激发
2.4定子结构设计
2.5电机夹持设计
2.6本章小结
第三章 U形直线超声电机实验分析
3.1 引言
3.2定子模态实验
3.3 电机样机及实验装置搭建
3.4电机性能测试实验
3.5.U形直线超声电机在步进式精密定位平台中的应用
3.6.本章小结
第四章 直线超声电机并联平台设计
4.1 引言
4.2 并联平台设计
4.3 实验方案
4.4 本章小结
第五章 U形直线超声电机并联运行实验分析
5.1 引言
5.2 电机运行实验
5.3 实验结果分析
5.4本章小结
第六章 总结与展望
6.1本文主要工作
6.2进一步研究思路
参考文献
致谢
在学期间的研究成果及发表的学术论文