电化学放电铣削加工工艺研究

摘要

绝缘脆硬材料由于具有绝缘性、耐磨损、耐腐蚀等优良特性，在生命科学、半导体等行业发挥着重要作用。电化学放电加工（ECDM）作为一种加工脆硬材料的方法被越来越多的研究者所关注。本文采用钨丝电极对高硼玻璃进行电化学放电铣削加工工艺研究，开展的主要研究工作和获取的成果如下：
　　（1）介绍了电化学放电加工机理和氢气膜等效电路模型，搭建了铣削实验平台，完成了铣削加工软件的编写。
　　（2）选择合适的工具电极与加工液对高硼玻璃进行了微槽加工。采用直流电源通过正交实验法研究了电压、溶液浓度、进给速度对于微槽宽度的影响。采用脉冲电源研究了脉冲占空比对于微槽宽度的影响。
　　（3）介绍了电化学放电铣削原理，在不同的电极重叠率、电压、溶液浓度条件下进行平面铣削加工实验，研究了各种工艺参数对于表面粗糙度的影响。
　　（4）分析了电化学放电加工过程中存在的误差及形成原因，进行铣削加工的补偿试验，提高了工件的加工精度。进行三维结构的铣削实验，证明电化学放电铣削加工有潜力运用于实际生产中。

目录

声明

第一章 绪论

1.1课题研究背景

1.2电化学放电加工国内外研究现状

1.3课题研究意义及内容安排

第二章 电化学放电加工原理

2.1电化学放电加工的原理及放电特性

2.2试验平台的建立

2.3控制软件的开发

2.4本章小结

第三章 电化学放电微槽加工工艺研究

3.1工艺试验条件

3.2实验操作步骤

3.3 高硼玻璃微流道加工试验方案

3.4试验结果及数据分析

3.5脉冲能量输入对放电间隙的影响

3.6本章小结

第四章 电化学放电铣削工艺研究

4.1电化学放电铣削加工

4.2电极运动轨迹规划及重叠率

4.3电化学放电铣削平面粗糙度研究

4.4 本章小结

第五章 电化学放电铣削加工的深度及斜度

5.1电化学放电铣削加工过程中的误差分析

5.2电化学放电铣削的尺寸精度补偿

5.3微结构加工

5.4本章小结

第六章 总结与展望

6.1全文总结

6.2展望

参考文献

致谢

在学期间的研究成果及发表的学术论文