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第一章 绪论
1.1 光学陀螺发展背景
1.2 集成光学谐振环概述
1.4 本论文主要工作内容
1.5 论文的创新点、难点和不足
参考文献
第二章 谐振式集成光学陀螺的基本原理
2.1 Sagnac效应
2.2 谐振环的特性分析和性能参数
2.2.1 谐振环的传输特性
2.2.2 陀螺谐振环的性能参数
参考文献
第三章 聚合物波导材料和谐振环结构设计
3.1 有机聚合物光波导材料
3.1.1 新型聚碳酸酯材料
3.1.2 紫外固化胶NOA61
3.2 聚合物光波导谐振环结构设计
3.1.1 谐振环结构设计
3.1.2 脊形波导设计
3.1.3 条载型波导设计
参考文献
第四章 聚合物光波导谐振环的工艺制备
4.1 制备工艺介绍
4.1.1 旋转涂覆
4.1.2 光刻技术
4.1.3 刻蚀技术
4.2 脊形光波导谐振环制备研究
4.2.1 制备过程
4.2.2 实验结果
4.3 条载光波导谐振环制备研究
4.3.1 光刻胶稀释
4.3.2 制备流程
4.3.3 实验结果
4.4 实验中存在的问题和讨论
4.5 小结
参考文献
第五章 脊形光波导谐振环器件的测试
5.1 对准通光测试
5.2 通光测试结果和讨论
5.2.1 辐射损耗分析
5.2.2 传输损耗分析
5.2.3 耦合损耗分析
5.3 小结
参考文献
第六章 总结和展望
致谢
攻读硕士期间发表及待发表的论文和专利