声明
摘要
第1章 绪论
1．1 研究背景
1．2 超声波电机概述
1．2．1 超声波电机简介
1．2．2 超声波电机的发展
1．2．3 超声波电机的特点
1．2．4 超声波电机的应用
1．3 超声波电机定位控制和速度控制的研究现状
1．4 超声波电机的微步进控制
1．5 本论文的研究内容和研究意义
1．5．1 研究内容
1．5．2 研究意义
第2章 超声波电机运行原理和驱动控制方式
2．1 环形行波型超声波电机的结构
2．2 环形行波型超声波电机的运行原理及其等效电路
2．2．1 运行原理
2．2．2 电学等效模型
2．3 环形行波超声波电机驱动控制原理
2．3．1 逆变主电路
2．3．2 驱动控制方法
2．4 本章小结
第3章 基于DSP的超声波电机控制系统的研究
3．1 超声波电机控制系统功能
3．2 基于DSP的控制电路硬件设计
3．2．1 基于芯片IR2103的驱动电路
3．2．2 串行通信电路
3．2．3 圆光栅测角系统
3．2．4 外扩存储器电路
3．3 基于DSP的控制电路软件设计
3．3．1 系统软件总体设计
3．3．2 PWM波的产生
3．3．3 转速测量和位置检测
3．3．4 上位机串口通信设计
3．4 本章小结
第4章 超声波电机的低速微步进控制
4．1 引言
4．2 超声波电机控制系统硬件平台介绍
4．3 微步进控制的方法与特性
4．3．1 超声波电机的瞬态特性分析
4．3．2 超声波电机的启动和关断特性
4．4 超声波电机的微步进特性
4．4．1 微步进控制的软件实现
4．4．2 单步波数与步距角
4．4．3 微步进驱动的转速检测
4．5 低速微步进控制开环运行
4．6 低速微步进控制闭环运行
4．6．1 数字PID控制算法
4．6．2 微步进运行的调速方法
4．6．3 低速微步进控制闭环运行实验
本章小结
第5章 超声波电机的高精度微纳定位控制
5．1 引言
5．2 超声波电机的定位特性
5．2．1 角位移的不确定性
5．2．2 超声波电机连续运行直接定位特性
5．2．3 超声波电机微步进驱动控制的角位移特性
5．3 超声波电机闭环单向定位控制
5．3．1 超声波电机闭环单向定位控制的方法
5．3．2 超声波电机闭环单向定位控制的实验及分析
5．4 超声波电机闭环往返定位控制
5．4．1 超声波电机闭环往返定位控制的方法
5．4．2 超声波电机闭环往返定位控制的实验及分析
5．5 本章小结
第6章 总结和展望
6．1 全文总结
6．2 本文存在的不足和进一步研究工作的展望
致谢
参考文献
附录
硕士学位期间发表的论文
