声明
摘要
第一章 绪论
1.1 引言
1.2 微流控技术概述
1.2.1 微流控技术的发展及应用
1.2.2 微流控芯片用于在线液体密度检测
1.3 在线液体密度计概述
1.3.1 液体密度在线检测的重要性
1.3.2 液体密度在线检测方法与原理
1.4 本论文的主要工作
第二章 球形玻璃谐振器的振动特性仿真
2.1 球形玻璃谐振器的振动特性分析
2.1.1 球形玻璃谐振器的模型建立
2.1.2 球形玻璃谐振器的模态分析
2.1.3 球形玻璃谐振器的谐响应分析
2.2 球形玻璃谐振器用于液体密度在线检测的可行性分析
2.3 本章小结
第三章 超声微流控芯片的制备
3.1 球形玻璃揩振器的制备理论
3.1.1 玻璃热成型加工工艺
3.1.2 热发泡法制备球形玻璃谐振器的理论基础
3.2 超声微流控芯片的设计
3.2.1 超声微流控芯片的材料选择
3.2.2 超声微流控芯片的结构设计
3.3 超声微流控芯片的制备
3.3.1 超声微流控芯片的制备方案
3.3.2 超声微流控芯片的制备结果及分析
3.4 本章小结
第四章 超声微流控芯片的测试与分析
4.1 多普勒测振仪测试原理
4.2 超声微流控芯片的振动特性测试
4.2.1 超声微流控芯片的振动特性测试方案
4.2.2 超声微流控芯片的振动特性测试及分析
4.3 基于超声微流控芯片的微型液体密度计的测试及分析
4.4 本章小结
第五章 总结与展望
5.1 总结
5.2 展望
致谢
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参考文献