北斗导航用2492MHz低损耗声表面波滤波器研制

摘要

随着全球卫星导航定位系统的兴起和中国北斗系统的大力建设，相关天线、芯片、板卡和接收机等配套产品发展迅速，对于接受和发射用高性能声表面波滤波器的市场需求巨大。 本文着重研究了采用42°Y-X LiTaO3压电材料和梯形设计结构的北斗Rx端用2492MHz低损耗声表面波滤波器的实现过程。在对声表面波，压电材料及叉指换能器的原理，特性、参数等作了大量基础性研究的基础上，通过器件性能指标需求分析，确认了基本设计方案和工艺方向。然后经过模拟仿真，在多个梯形级联方案中选取损耗、带宽和抑制均能较好满足要求的串并联结构，并进一步优化其串并连接方式以简化谐振器数量。最后确认了各谐振器的结构参数，得到了最终版图。 为保证器件的性能和可靠性，在声表器件生产工艺方面也进行了相应的优化，比如选择了黑化还原钽酸锂作为衬底材料，采用剥离工艺制备叉指换能器，使用Al-Cu合金替代常规的Al，对压焊电极区域进行局部加厚等。 最后对2492MHz声表滤波器进行了电性能测试和可靠性验证，结果证明了设计方案和工艺优化的正确性。

目录

第一个书签之前