文摘
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第一章 概述
§1.1 光栅计量的发展历史
§1.2 光栅测量的优点
§1.3 国内外发展情况及本论文的研究内容
第二章 基本原理
§2.1 莫尔条纹的形成
§2.2 测量原理
§2.3 光栅副莫尔条纹信号质量指标
第三章 50mm光栅测微传感器的结构设计
§3.1 主要的技术参数
§3.2 传感器的结构纺设计
3-2-1结构原理
§3.2.2主要解决的问题和方法
§3.3 莫尔条纹信号的调整与输出
§3.4 结构的特点
第四章 传感器的精度分析
§4.1 误差原理
§4.2 测微传感器的不确定度的分析
第五章 实验结果与对比
§5.1 50mm测微传感器测试系统实物图
§5.2 测试与对比结果
§5.3 测试结果分析
致 谢
参考文献
