离子壁垒膜对带电粒子的阻止和透过性能研究

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本论文对微通道板离子壁垒膜的电子透过和离子阻止性能作了分析，研究带电粒子与薄膜的相互作用、带电粒子在薄膜中分布函数、蒙特卡罗离子壁垒膜模拟等，对离子壁垒膜的电子透过和离子阻止过程进行了概要的理论分析和模拟，以充实离子壁垒膜技术的研究。从理论上给出了Al2O3离子壁垒膜几何厚度与电子透过和阻止正离子能力的定性关系，得出5nm几何厚度的Al2O3单晶或非晶薄膜理论上可以有效地阻止正离子反馈，电子的透过率可达95﹪以上的结论，与实验结果基本吻合。

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作者
刘庆飞;
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作者单位

长春理工大学;

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授予单位长春理工大学;
学科微电子学与固体电子学
授予学位硕士
导师姓名田景全,姜德龙;
年度 2004
页码
总页数
原文格式 PDF
正文语种中文
中图分类微光技术、微光夜视仪;
关键词
微光像增强器; 微通道板; 离子壁垒膜; 电子透过率;

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