高功率半导体激光器腔面膜的研究

摘要

本文简单介绍激光的基本原理，着重说明了激光器光学谐振腔上的高反射膜的作用。详细研究了该腔面膜的优化和工艺制备过程。 由激光器自身解理面形成的谐振腔面，反射率仅有32﹪。为了获得高的增益和激光的收集利用使得阈值电流降低，提高量子效率和激光的输出功率，在谐振腔的腔面上镀制光学薄膜。前端面镀增透膜增加了光的透过能力，后端面镀制高反膜。采用Al2O3和SiO2-Si组合作为多层介质高反膜堆，其具备吸收小，散射少等优点，使得反射率从32﹪提高到97﹪以上。同时，镀制的膜层保护了器件端面，延长了器件的工作寿命。 该实验采用的设备是Integrity-36全自动真空镀膜机，利用电子束和离子辅助进行沉积镀膜，采用UV3100PC分光光度计测试光谱特性曲线，并用M-44椭偏仪进行膜层分析，给出了实验曲线和实验数据，以及综合评价结果。

目录

文摘

英文文摘

第一章绪论

第二章激光器的物理基础及基本结构

第三章膜系设计

第四章光学薄膜的制备

第五章实验结果及分析

结论

致谢

参考文献

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