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声明
第一章绪论
1.1引言
1.2国内外发展现状
1.3论文研究的目的和意义
1.4论文研究的内容
第二章综合系统的总体方案设计
2.1设备的使用要求和功能
2.2 CCM自动调焦设备的设计
2.3电机伺服系统设计
2.4总布局及主要部件结构
第三章景深自动测试设备的设计
3.1景深概述
3.2景深测试设备工作原理
3.3景深测试设备的构成
3.4设备总布局及主要部件结构
第四章光学设计
4.1 ZEMAX系统简介
4.2视场仪镜头设计
4.3 10倍投影系统设计
第五章精度分析
5.1景深调整精度分析
5.2回转台调整误差分析
5.3光栅尺与电控平移台平行度误差分析
结 论
致 谢
参考文献