高功率脊形半导体激光器模式特性研究

摘要

在半导体激光器的诸多应用中，都希望其基横模工作。在一定功率输出条件下，如何实现半导体激光器稳定的单模工作，仍然是半导体激光器设计和制作的一个主要课题。
　　本论文首先综述了高功率半导体激光器的发展历程，综合分析了其模式特性。进而利用有效折射率法求解了脊形光波导半导体激光器的模式场分布，并运用Matlab进行模拟。通过对这种波导模式的分析，进行了新型单模脊波导的设计，提出了条宽8μm条形结构。分析了其潜在优点。同时为解决宽条形激光器丝状发光问题，设计了增益导引锁相列阵激光器，提高了器件的模式特性。完成了器件腔面膜的制备，并对湿法腐蚀工艺进行研究，得到了表面形貌较好的脊形结构。