基于线阵CCD的小型光电位移检测系统的研究

摘要

位移量的测量在工业生产和军事上都有着广泛的应用，如各种回转体和箱体零件的尺寸或形位误差的测量，因此位移量的测量一直都是计量领域研究的重要部分。随着位移检测技术的发展以及测量环境和被测物体的要求，非接触测量逐渐体现出其独特的优势和发展潜力。其中利用光三角原理为基本测量原理，选用线阵CCD为探测器件的光电式位移测量系统，因其具有检测精度高、抗干扰性强等特点，满足了工业测量和检测等方面的需要。
　　本文给出了基于线阵CCD的光电位移检测系统的总体结构设计，对传统的光电位移检测系统进行了改进。在系统结构和电路上进行优化设计，减小了位移检测系统的体积，满足不同场合的测量需要，提高了设备的灵活性；本文完成了线阵CCD的驱动电路和信号处理电路的设计，介绍了一种激光功率控制电路，使激光光源在测量范围内达到最佳检测条件；最后还分析了系统的实验结果和影响检测系统测量精度的因素。