The Design of Precision Photoelectric Circuit in Micro Displacement Detection System

摘要

基于像散原理的光学检测系统,是通过对光路系统聚焦信号的离焦量fES的检测实现微位移的测量。四象限光电探测器作为检测系统的光电转换传感器,需要设计光电探测器电路,实现对fES信号的检测,并由微单片机系统采集处理,通过串口通信传给PC机进行数据存储和被测对象二维图像分析和重建。通过将所设计的电路集成在光学测头装置上进行实验测量,光电转换信号稳定,相对误差小于5%。