Al2O3/alucone交叠结构的封装薄膜

摘要

本文主要采用原子层沉积（ALD）/分子层沉积（MLD）技术制备无机（Al2O3）/有机（alucone）交叠结构的封装薄膜，对顶发射有机电致发光器件（TEOLED）进行封装。由于封装TEOLED器件的特殊性，要求封装薄膜在保证封装性能的同时，具有较高的光学透过率，能够提高器件的光取出量。研究了ALD生长条件对无机薄膜的影响，通过改变生长温度及反应前驱体，提高无机薄膜性能。实验所制备 Al2O3/alucone复合结构的封装薄膜，通过精确控制每层薄膜的生长厚度调节 Al2O3、alucone所占比例。Al2O3：alucone比例为7:1的薄膜水汽透过率（WVTR）达到8.68×10-5 g/（m2·day），光学透过率有3％的提升。在不影响有机器件性能的前提下，大大延长了器件的使用寿命，提高了TEOLED器件的光取出。

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第一章 绪论

1.1 本课题研究的目的与意义

1.2 OLED器件概述

1.3 器件结构及构成材料

1.4 OLED发光原理

1.5 OLED器件的参数

1.6 OLED器件的失效老化机制

1.7 OLED的封装方法

第二章 封装薄膜的制备与测试方法

2.1 原子层沉积技术（ALD）制备无机薄膜封装层

2.2 ALD/MLD制备无机/有机复合封装层

2.3 采用钙测试法测试薄膜水汽透过率（WVTR）

2.4 多源有机-金属气相沉积系统

2.5 本章小结

第三章 利用单层无机封装薄膜封装OLED器件

3.1 制备氧化铝（Al2O3）封装薄膜

3.2 制备氧化锆（ZrO2）封装薄膜

3.3 本章小结

第四章 利用有机无机叠层封装结构封装TEOLED器件

4.1 利用SIMOLED软件模拟Al2O3/alucone封装薄膜光学透过率

4.2 制备Al2O3/alucone复合结构的封装薄膜

4.3 测试薄膜封装性能及物理性质

4.4 TEOLED器件发光寿命测试

4.5 TEOLED器件性能测试

4.6 本章小结

第五章 总结

致谢

参考文献

攻读硕士期间发表论文