声明
摘要
第一章 前言
1.1 硅的性质及用途
1.2 太阳级多晶硅及其发展现状
1.3 太阳级硅的生产方法
1.3.1 改良西门子法
1.3.2 硅烷法
1.3.3 流化床法
1.4 研究目的与意义
第二章 文献综述
2.1 引言
2.2 冶金法(物理法)的发展
2.2.1 真空感应熔炼法
2.2.2 电子束熔炼法
2.2.3 等离子体熔炼法
2.2.4 热交换法
2.2.5 冶金法与西门子法比较
2.3 熔盐电化学方法
2.3.1 电解硅能耗及成本估算
2.3.2 熔盐电解硅发展历史
2.3.3 熔盐电化学方法与西门子法比较
2.4 化学法与冶金法(物理法)的结合
2.4.1 合金凝固提纯方法的突破
2.4.2 熔盐电解及精炼制备高纯合金
2.5 论文研究方案与内容
第三章 氟化物熔盐体系中电极电位热力学计算和Si的电化学行为研究
3.1 引言
3.2 实验
3.2.1 实验设备
3.2.2 化学试剂
3.2.3 实验研究方法及条件
3.3 氟化物熔盐体系中元素电极电位理论计算
3.3.1 氟化物熔盐电解质分解电压的计算
3.3.2 氟化物熔盐体系中不同浓度元素共沉积行为研究
3.4 氟化物熔盐体系中Si的电化学行为研究
3.4.1 固态电极上硅的电化学行为研究
3.4.2 液态金属电极上硅的电沉积行为研究
3.5 本章小结
第四章 Na3AlF6-SiO2体系中Si及含Si合金的熔盐电解制备
4.1 引言
4.2 实验
4.2.1 实验设备
4.2.2 试剂及原料
4.2.3 实验研究方法及条件
4.2.4 分析与检测
4.2.5 电解槽流场仿真
4.3 结果与讨论
4.3.1 固态电极电沉积硅的研究
4.3.2 电沉积Si成分及纯度研究
4.3.3 液态金属电极电沉积硅的研究
4.3.4 700A电流电解硅中试实验研究
4.4 本章小结
第五章 Si的三层液及水平式熔盐电解精炼
5.1 引言
5.2 实验
5.2.1 实验设备
5.2.2 试剂及原料
5.2.3 分析与检测
5.2.4 电解过程仿真
5.3 熔盐电解精炼三层液体系设计
5.3.1 电解槽结构
5.3.2 阴极金属及电极选择
5.3.3 阳极合金选择
5.3.4 电解质体系确定
5.3.5 电解温度确定
5.3.6 实验室三层液精炼的实施
5.4 结果与讨论
5.4.1 三层液分层情况及电解精炼产物形貌
5.4.2 精炼过程仿真及沉积硅形貌分析
5.4.3 电解工艺参数研究
5.4.4 阳极行为研究
5.4.5 电解精炼硅的提取与分离
5.4.6 三层液电解精炼的改进与水平电解精炼硅初探
5.5 本章小结
第六章 结论与展望
6.1 结论
6.2 展望与建议
参考文献
致谢
攻读学位期间主要研究成果