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目录
第1章 绪论
1.1 铁电存储器
1.2 铁电材料
1.3 BiFeO3及其研究进展
1.4 研究目的及主要内容
第2章 CSD法制备铁酸铋铁电薄膜
2.1 铁电薄膜的制备工艺与表征方法
2.2 CSD法制备BiFeO3铁电薄膜的工艺探索
2.3 本章小结
第3章 热处理对La与Mn共掺杂BiFeO3铁电薄膜性能的影响
3.1 不同温度热处理对铁电薄膜性能的影响
3.2 不同升温速率对铁电薄膜性能的影响
3.3 本章小结
第4章 BCT/BLFMO复合铁电薄膜的性能分析
4.1 Bi3.4Ce0.6Ti3O12薄膜及其性能表征
4.2 BCT/BLFMO复合铁电薄膜的性能表征
4.3 本章小结
第5章 总结与展望
5.1 总结
5.2 展望
参考文献
致谢