热解温度对镧、锰共掺杂铁酸铋薄膜铁电性能的影响（英文）

摘要

在不同热解温度下,采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备镧、锰共掺杂铁酸铋铁电薄膜Bi0.9La0.1Fe0.95Mn0.05O3（BLFMO）。利用热失重仪（TGA）分析BLFMO原粉的质量损失,用 X 射线衍射仪（XRD）和原子力显微镜（AFM）分析 BLFMO 薄膜的晶体结构和表面形貌。在热解温度为420℃时,得到BLMFO薄膜的剩余极化值为21.2μC/cm2,矫顽场为99 kV/cm,漏电流密度为7.1×10-3 A/cm2,说明薄膜在此热解温度下具有较好的铁电性能。