预先镀SiO膜玻璃基片上SnO:Sb薄膜的SOL-GEL法制备及表征

摘要

本论文介绍了节能镀膜玻璃概况、节能特性、原理、特别是低辐射膜的种类及常用的制备方法,并总结出SnO<,2>:Sb薄膜以其良好的导电性和优良的光学特点,方便的制备方法,能够成为经济型节能镀膜玻璃的主要膜层材料.以无机金属盐SnCl<,2>·2H<,2>O和SbCl<,3>为原料,无水乙醇为溶剂,乙酸为催化剂,在普通的钠钙硅玻璃上预先镀一层SiO<,2>薄膜,采用溶胶凝胶浸渍法制备Sb掺杂SnO<,2>薄膜.研究了热处理温度、掺杂浓度和薄膜厚度对SnO<,2>:Sb薄膜结构和性能的影响,分析了薄膜的形成机理.结果表明溶胶凝胶法制备的SnO<,2>:Sb薄膜晶粒主要是四方相金红石结构,随着热处理温度的提高,SnO<,2>薄膜结晶性能提高,晶粒长大,发育趋向良好.热处理温度在773K时最好,适量的掺杂能显著提高薄膜的导电性能,并保持较高的可见光透射率和较高的红外反射率.薄膜的厚度对性能和结构影响也很大,随着薄膜厚度的增加,SnO<,2>薄膜结晶性能提高,晶粒长大,发育趋向良好.但薄膜厚度的增大会增加薄膜表面的粗糙度.

目录

文摘

英文文摘

第1章引言

第2章文献综述

2.1节能镀膜玻璃的概况

2.1.1节能镀膜玻璃

2.1.2低辐射、阳光控制镀膜玻璃的节能原理

2.1.3节能型镀膜玻璃的评价参数

2.2节能镀膜玻璃的种类

2.2.1电介质/金属/电介质多层复合低辐射玻璃

2.2.2半导体单层膜低辐射玻璃

2.2.3阳光控制低辐射玻璃

2.3节能镀膜玻璃的制备技术

2.3.1真空蒸发镀膜法

2.3.2电浮法镀膜

2.3.3热喷涂镀膜法

2.3.4化学气相沉积法

2.3.5溅射镀膜法

2.3.6溶胶—凝胶法镀膜

2.4选题角度的确定

第3章预镀SiO2膜玻璃基片上SnO2：Sb的Sol-Gel的制备及表征方法

3.1溶胶-凝胶体系的应用

3.2实验设备与器材

3.3试样制备过程

3.3.1主要原料

3.3.2溶胶的配置

3.3.3玻璃基片的清洗

3.3.4浸渍镀膜和热处理

3.4 SnO2：Sb薄膜形成过程探讨

3.5薄膜试样结构和性能表征方法

3.5.1薄膜结构的测定

3.5.2中红外反测率测试

3.5.3薄膜表面形貌的测定

3.5.4薄膜成分的测定

3.5.5光学性能测定

3.5.6电学性能测定

第4章锑掺杂二氧化锡薄膜的结构和性能表征

4.1不同热处理温度对薄膜结构和性能的影响

4.1.1镀膜试样的XRD测试分析

4.1.2镀膜试样的紫外-可见光透过率测试分析

4.1.3镀膜试样的方块电阻测试分析

4.1.4镀膜试样的XPS测试分析

4.1.5镀膜试样的SEM测试分析

4.1.6结果讨论与分析

4.2不同锑掺杂浓度对薄膜结构和性能影响

4.2.1镀膜试样的XRD测试分析

4.2.2镀膜试样的SPM测试分析

4.2.3镀膜试样的紫外-可见光透过率测试分析

4.2.4镀膜试样的XPS测试分析

4.2.5镀膜试样的电学性能测试分析

4.2.6镀膜试样的红外反射光谱测试分析

4.2.7镀膜试样的光学能隙

4.2.8结果讨论与分析

4.3不同厚度对薄膜结构和性能的影响

4.3.1镀膜试样的XRD测试分析

4.3.2镀膜试样的TEM测试分析

4.3.3镀膜试样的SPM测试分析

4.3.4镀膜试样的紫外-可见光透过率测试分析

4.3.5镀膜试样的SEM测试分析

4.3.6镀膜试样的方块电阻测试分析

4.3.7镀膜试样的XPS测试分析

4.3.8结果讨论与分析

4.4薄膜试样的化学稳定性

4.5本章小节

第5章结论

参考文献

学习期间发表的论文

致谢