声明
摘要
第1章 绪论
1.1 引言
1.2 氮化硅的基本结构、性质及应用
1.2.1 氮化硅的基本结构
1.2.2 氮化硅的基本性质
1.2.3 氮化硅的主要应用
1.3 氮化硅薄膜的制备途径
1.3.1 直接氮化法
1.3.2 化学气相沉积法
1.3.3 物理气相沉积法
1.4 本文的技术研究背景及内容
1.5 本章小结
第2章 氮化硅薄膜的检测方法
2.1 氮化硅薄膜的光学性能表征
2.1.1 椭圆偏振仪
2.1.2 紫外可见光分光光度计
2.2 氮化硅薄膜结构的表征
2.2.1 X射线衍射仪
2.2.2 傅里叶变换红外光谱仪
2.3 氮化硅薄膜成分的表征
2.4 氮化硅薄膜形貌的表征
2.5 本章小结
第3章 实验方案及表征手段
3.1 实验研究路线
3.2 实验仪器与设备
3.3 实验材料
3.4 实验表征手段
3.4.1 氮化硅薄膜光学性能的表征
3.4.2 氮化硅薄膜结构的表征
3.4.3 氮化硅薄膜成分的表征
3.4.3 氮化硅薄膜表面形貌的表征
3.5 本章小结
第4章 氮化硅薄膜的性能研究
4.1 氮化硅薄膜的光学性能分析
4.1.1 折射率随气压的变化趋势分析
4.1.2 折射率随功率的变化趋势分析
4.1.3 透过率随气压的变化趋势分析
4.1.3 TFC膜系设计软件模拟与实测氮化硅薄膜透过率的比较
4.2 氮化硅薄膜的结构分析
4.2.1 X射线衍射分析
4.2.3 FTIR傅里叶变换红外光谱分析
4.3 氮化硅薄膜的成分分析
4.4 氮化硅薄膜的表面形貌分析
4.5 本章小结
第5章 热处理对氮化硅薄膜相关性能的影响
5.1 热处理对氮化硅薄膜光学性能的影响
5.2 热处理对本文氮化硅薄膜微观结构的影响
5.2.1 热处理后的X射线衍射分析
5.2.2 热处理后的FTIR傅里叶变换红外光谱测试
5.3 热处理对氮化硅薄膜表面形貌的影响
5.4 本章小结
第6章 总结与展望
6.1 总结
6.2 展望
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文