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飞秒激光烧蚀金属材料特性与微零件制备研究

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1 绪论

1.1 飞秒激光技术的发展

1.2 飞秒激光材料微细加工研究进展

1.3 论文的主要工作

2 飞秒激光烧蚀金属材料的理论基础与数值模拟

2.1 飞秒激光与金属材料作用的一般物理过程

2.2 飞秒激光烧蚀金属材料的双温模型与分子动力学模拟方法

2.3 飞秒激光烧蚀金属镍的结合双温模型的分子动力学模拟

2.4 小结

3 飞秒激光微细加工实验系统

3.1 掺钛蓝宝石飞秒激光器

3.2 微细加工光路装置

3.3 三维数控精密微加工工作台与控制系统

3.4 微细加工系统工作原理

3.5 小结

4 飞秒激光无晶化微细加工非晶合金的实验研究

4.1 实验材料

4.2 实验方法

4.3 实验结果与分析

4.4 小结

5 飞秒激光直接制备金属微型零件及应用

5.1 飞秒激光微细加工不锈钢与镍的参数优化与微型悬臂梁制备

5.2 金属微型悬臂梁的微腐蚀疲劳试验

5.3 较复杂不锈钢微型图案与零件的飞秒激光制备

5.4 小结

6 总结与展望

6.1 主要研究内容与结论

6.2 主要特色与创新

6.3 需要更深入研究的内容与展望

致谢

参考文献

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附录2 攻读博士学位期间申请专利目录

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