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目录
1 绪论
1.1 飞秒激光技术的发展
1.2 飞秒激光材料微细加工研究进展
1.3 论文的主要工作
2 飞秒激光烧蚀金属材料的理论基础与数值模拟
2.1 飞秒激光与金属材料作用的一般物理过程
2.2 飞秒激光烧蚀金属材料的双温模型与分子动力学模拟方法
2.3 飞秒激光烧蚀金属镍的结合双温模型的分子动力学模拟
2.4 小结
3 飞秒激光微细加工实验系统
3.1 掺钛蓝宝石飞秒激光器
3.2 微细加工光路装置
3.3 三维数控精密微加工工作台与控制系统
3.4 微细加工系统工作原理
3.5 小结
4 飞秒激光无晶化微细加工非晶合金的实验研究
4.1 实验材料
4.2 实验方法
4.3 实验结果与分析
4.4 小结
5 飞秒激光直接制备金属微型零件及应用
5.1 飞秒激光微细加工不锈钢与镍的参数优化与微型悬臂梁制备
5.2 金属微型悬臂梁的微腐蚀疲劳试验
5.3 较复杂不锈钢微型图案与零件的飞秒激光制备
5.4 小结
6 总结与展望
6.1 主要研究内容与结论
6.2 主要特色与创新
6.3 需要更深入研究的内容与展望
致谢
参考文献
附录1 攻读博士学位期间发表论文目录
附录2 攻读博士学位期间申请专利目录