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声明
1 绪论
2 基于白光干涉超精密表面形貌测量方法及理论研究
3 基于白光干涉超精密表面形貌测量系统研制
4 白光干涉计量型原子力探针扫描测量研究
5 大量程计量型纳米驱动系统
6 激光干涉位移计量系统及信号接收与处理
7 精度实验与应用实例
8 总结与展望
致 谢
参考文献
附录1 攻读博士学位期间科研成果目录
华中科技大学;
超精密表面测量; 原子力探针扫描; 白光显微干涉; 数据融合接触工作方式; 非线性误差修正; 纳米驱动系统; 激光干涉位移计量系统;