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目录
1 绪论
1.1 课题来源
1.2 课题的目的及意义
1.3 本论文的主要研究内容
2 激光微抛光技术及国内外研究动态
2.1 激光抛光技术的发展
2.2 激光微抛光机理
2.3 国内外研究动态
2.4 本章小结
3 实验装置及方法
3.1 实验装置
3.2 样品的准备
3.3 微抛光实验方法
3.5 本章小结
4 实验的结果与分析
4.1 抛光方案的研究
4.2 扫描速度的影响
4.3 样品尺寸的影响
4.4 连续激光与脉冲激光抛光效果的比较
4.5 脉冲激光重复频率的影响
4.6 YAG激光和光纤激光的抛光效果的比较
4.7 本章小结
5 总结和展望
5.1 总结
5.2 展望
致谢
参考文献
华中科技大学;