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目录
1 引言
1.1 课题背景
1.2 硅基MEMS加速度计介绍
1.3 本论文主要研究内容
2 硅基挠性加速度计设计
2.1 弹簧-振子结构设计
2.2 弹簧-振子结构参数优化设计
2.3 电容位移传感与反馈控制设计
2.4 整体设计及版图布局
2.5 小结
3 硅基挠性加速度计加工工艺研究
3.1 硅基挠性加速度计工艺流程设计
3.2 典型单层工艺摸索
3.3 工艺兼容性、稳定性研究
3.4 硅基挠性加速度计加工结果
3.5 小结
4 硅基挠性加速度计测试
4.1 弹簧-振子结构机械性能测试
4.2 硅基挠性加速度计电学性能测量
4.3 加速度计开环检测功能初步实现
4.4 小结
5 硅基挠性加速度计改进与测试
5.1 阵列电容极板位移传感灵敏度影响因素和解决方案
5.2 单电容极板输出“奇异点”问题及其解决方案
5.3 优化后的硅基挠性加速度计检测
5.4 反馈控制功能测试
5.5 小结
6 总结和展望
致谢
参考文献
附录1 攻读博士学位期间发表的论文和申请的专利
附录2 硅基挠性加速度计各层版图
附录3 工艺清单