声明
第一章 绪论
1.1引言
1.2二维六方氮化硼（h-BN）研究背景
1.2.1二维 h-BN的结构
1.2.2 二维h-BN的性质和应用
1.3 二维h-BN的制备方法
1.3.1 机械剥离法
1.3.2 液相剥离法
1.3.3 化学气相沉积法
1.4 化学气相沉积过程中对二维h-BN的调控
1.4.1 尺寸调控
1.4.2 形状调控
1.4.3 层数调控
1.4.4 异质结调控
1.5 选题思路及意义
第二章 纳米颗粒辅助化学气相合成大尺寸二维h-BN单晶
2.1 引言
2.2 实验部分
2.2.1实验试剂及仪器
2.2.2 二维h-BN的化学气相合成
2.2.3 二维h-BN的转移过程
2.2.4 二维h-BN的表征
2.3 结果与讨论
2.3.1 二维h-BN的生长调控
2.3.2 二维h-BN的表征
2.3.3 生长机理浅析
2.3.4 纳米颗粒的形成及调控
2.3.5 生长机理延伸
2.4 本章小结
第三章 等离子体辅助化学气相合成石墨烯/六方氮化硼异质结
3.1 引言
3.2 等离子体简介
3.3 实验部分
3.3.1 实验试剂及仪器
3.3.2 异质结的化学气相合成
3.3.3 异质结的表征
3.4 结果与讨论
3.4.1 石墨烯的生长及表征
3.4.2 异质结的生长及表征
3.4.3 刻蚀研究
3.5 本章小结
第四章 结论与展望
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间发表论文
