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目录
第1章 绪论
1.1 课题研究的背景和意义
1.2 精密定位工作台的国内外研究现状
1.3 课题的研究内容
第2章 精密工作台的方案研究与搭建
2.1 粗动工作台的搭建
2.2 精动定位工作台方案研究和搭建
2.3 本章小结
第3章 压电陶瓷原理特性分析及驱动控制
3.1 压电陶瓷工作原理
3.2 压电陶瓷特性分析
3.3 压电陶瓷驱动器控制策略
3.4 本章小结
第4章 压电陶瓷驱动器相关设计
4.1 压电陶瓷驱动器系统硬件结构
4.2 压电陶瓷驱动器的驱动电源设计
4.3 压电陶瓷驱动器反馈系统的整体设计
4.4 系统软件设计
4.5 本章小结
第5章 仿真及实验结果分析
5.1 精动工作台性能测试
5.2 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间所发表的学术论文
致谢