微型六维力/力矩传感器及其自动标定的研究
STUDY ON MINIATURE SIX-AXISFORCE/TORQUE SENSOR AND ITSAUTO-CALIBRATION
摘 要
Abstract
Contents
第1 章 绪论
1.1 引言
1.2 六维力传感器的发展及现状
1.3 六维力传感器微型化的关键技术
1.4 课题来源和主要研究内容
1.5 本文结构
第2 章 微型六维力/力矩传感器的研制
2.1 引言
2.2 设计要求及技术指标
2.3 微型六维力传感器机械系统设计
2.4 信号调理电路及数字化电路设计与集成
2.5 本章小结
第3 章 微型六维力/力矩传感器MEMS 工艺
3.1 引言
3.2 薄膜电阻应变计的设计与制作
3.3 各功能材料的分析实验选择
3.4 引线键合
3.5 系统测试
3.6 本章小结
第4 章 微型六维力/力矩传感器静动态性能研究
4.1 引言
4.2 六维力传感器静态解耦的研究
4.3 六维力传感器加载实验及静态性能指标
4.4 六维力传感器标定矩阵扰动分析
4.5 六维力传感器动态性能研究
4.6 本章小结
第5 章 六维力/力矩传感器自动标定的研究
5.1 引言
5.2 基于三轴加速度计的多维力传感器静态自标定
5.3 从运动复原形状(Shape from Motion)
5.4 RX60 机器人操作力传感器自动标定的运动规划
5.5 多维力/力矩传感器的自动标定
5.6 自动标定法与最小二乘法的比较
5.7 本章小结
结 论
参考文献
攻读博士学位期间发表的论文
攻读博士学位期间取得的成果
致 谢
哈尔滨工业大学博士学位论文原创性声明及使用授权书
个 人 简 历
哈尔滨工业大学;