同步移相干涉共焦显微成像技术研究
RESEARCH ON COFOCAL SIMULTANEOUSPHASE-SHIFTING INTERFERENCE IMAGINGMICROSCOPY
摘 要
Abstract
目 录
CONTENTS
第1章 绪 论
1.1 课题研究的背景、目的和意义
1.2 共焦显微技术研究现状
1.3 共焦显微测量技术目前存在的问题
1.4 课题来源及主要研究内容
第2章 无限距共焦显微理论建模及特性分析
2.1 引言
2.2 标量衍射理论基础
2.3 无限距共焦系统成像理论
2.4 无限距共焦成像特性分析
2.5 无限距干涉共焦成像特性分析
2.6 本章小结
第3章 同步移相干涉共焦显微测量方法
3.1 引言
3.2 同步移相干涉基本原理
3.3 同步移相干涉共焦显微测量模型及测量方法
3.4 针孔位移对同步移相干涉共焦特性的影响
3.5 同步移相干涉共焦显微技术特性分析
3.6 本章小结
第4章 同步移相干涉共焦显微测量方法涉及的若干关键技术问题
4.1 引言
4.2 扫描方式对比分析
4.3 光源分析
4.4 物镜分析
4.5 光学系统调试
4.6 数据采集及图像重构
4.7 本章小结
第5章 实验结果及分析
5.1 引言
5.2 同步移相干涉共焦显微综合测量装置
5.3 同步移相干涉共焦显微技术特性分析实验
5.4 同步移相干涉共焦显微成像技术典型样品测量实验
5.5 无限距共焦显微成像理论模型验证实验
5.6 本章小结
结 论
参考文献
附 录
攻读博士学位期间发表的学术论文
哈尔滨工业大学博士学位论文原创性声明
哈尔滨工业大学博士学位论文使用授权书
致 谢
个人简历