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目录
第1章 绪 论
1.1课题来源及研究的背景和意义
1.2微结构表面抛光的研究现状
1.3超声振动辅助抛光的研究现状
1.4本课题的主要研究内容
第2章 实验平台的搭建及抛光盘和抛光液的选取
2.1引言
2.2实验平台的搭建
2.3工件材料和抛光材料的选取
2.4系统误差分析
2.5本章小结
第3章 圆弧槽微结构阵列的抛光实验研究
3.1引言
3.2抛光轮修整方案及材料去除量测量方案的设计
3.3正交实验方案设计及结果分析
3.4抛光参数对表面质量和材料去除率的影响分析
3.5本章小结
第4章 超声振动辅助抛光实验研究及材料去除率方程的建立
4.1引言
4.2超声振动辅助抛光实验平台的搭建
4.3实验方案设计及结果分析
4.4材料去除率方程的建立
4.5本章小结
结论
参考文献
攻读学位期间发表的学术论文
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致谢