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目录
第1章 绪论
1.1 课题来源
1.2 课题研究背景与意义
1.3 国内外研究现状
1.4 论文的主要内容
第2章 磨削力预测模型建立及表面残余应力分析
2.1 引言
2.2 磨削力预测模型的建立
2.3 基于ABAQUS的残余应力分析模型的建立
2.4 本章小结
第3章 考虑残余应力的夹持方案晶体变形分析
3.1 引言
3.2 考虑晶体框平面度的夹持组件有限元模型的建立
3.3 多种夹持方案的晶体变形仿真
3.4 多夹持面夹持方案晶体变形仿真结果分析
3.5 本章小结
第4章 晶体低应力夹持实验研究
4.1 引言
4.2 晶体低应力夹持实验系统的建立
4.3 晶体框平面度的标定
4.4 全周长夹持变形检测实验
4.5 夹持位置对晶体变形的影响实验
4.6 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文
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致谢