第1章 绪 论
1.1 课题研究背景
1.2 硫化锌的性能改性研究进展
1.3 主要研究内容
第2章 硫化锌抗反射亚波长结构的制备与测试方法
2.1 引言
2.2抗反射亚波长结构的设计
2.3硫化锌表面亚波长结构的制备
2.4 St?ber法制备二氧化硅微球
2.5 氧化铝保护膜的制备
2.6硫化锌表面亚波长结构的测试分析
第3章 ZnS表面抗反射亚波长结构的设计与制备研究
3.1 引言
3.2 硫化锌表面抗反射微结构的理论计算与模拟设计
3.3硫化锌表面单层二氧化硅微球的制备研究
3.4刻蚀工艺参数对硫化锌表面亚波长结构高度的影响
3.5 本章小结
第4章 氧化铝薄膜为ZnS亚波长微纳结构保护层的研究
4.1 引言
4.2 原子层沉积Al2O3保护膜的制备研究
4.3 硫化锌表面亚波长结构的增透性能
4.4 硫化锌表面亚波长结构对润湿性的影响
4.5 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果
声明
致谢