深亚波长二维光栅抗反射特性研究的新方法

摘要

采用了耦合波理论对结构尺度远小于波长的二维亚波长周期光栅进行了讨论，结果表明，这种二维亚波长光栅可等效成一介质层，这介质层具有双折射晶体的性质，文中给出了相应的等效折射率，在此基础上我们采用数值计算的方法分析了在不同人射角情况下该介质层的反射特性，从而给出了抗反膜的设计参数．