第1章 绪 论
1.1课题背景及意义
1.2固体润滑薄膜材料
1.3固体润滑涂层制备方法
1.4等离子体浸没离子注入与沉积技术
1.5课题研究内容
第2章 试验材料及方法
2.1试验材料
2.2试验设备与工艺
2.3组织结构及性能分析方法
第3章 Ti-B N复合阴极的制备及其阴极弧等离子体的质谱诊断
3.1引言
3.2 Ti-BN复合阴极的制备及性能
3.3 Ti-BN复合阴极放电等离子体的质谱诊断
3.4本章小结
第4章 TiBN纳米复合薄膜微观组织研究及性能分析
4.1引言
4.2 TiBN纳米复合薄膜微观组织
4.3 TiBN纳米复合薄膜的力学性能
4.4 TiBN纳米复合薄膜润滑机理分析
4.5本章小结
第5章 TiBN纳米复合薄膜高温氧化后的微观组织结构及性能
5.1引言
5.2薄膜氧化反应机制
5.3 TiBN纳米复合薄膜高温氧化特性
5.4 TiBN纳米复合薄膜高温力学性能
5.5薄膜高温润滑机制分析
5.6本章小结
结论
创新点
展望
参考文献
攻读博士学位期间发表的学术论文及其它成果
声明
致谢
个人简历